DLC防腐耐磨层

目的将HiPIMS电源应用于PECVD技术，在304不锈钢管内壁沉积DLC防腐耐磨层，以提高其机械、耐蚀及摩擦学性能。方法将HiPIMS电源应用于PECVD技术，并利用空心阴极放电效应在管道内产生高密度等离子体，沉积DLC涂层。通过拉曼光谱、扫描电子显微镜和EDS对DLC涂层的结构和成分进行表征，并通过纳米压痕测试、划痕试验、静态极化曲线和摩擦磨损试验，分别评价304不锈钢管基底和DLC涂层的硬度、膜基结合力、耐腐蚀性能、摩擦学性能和耐磨性。结果HiPIMS 电源应用于PECVD技术可在304不锈钢管内壁沉积DLC防腐耐磨层。

DLC涂层的厚度可达5.60~10.26 pum,硬度可达10~15GPa，与304管内壁的结合力(Le2) 均大于7 N。DLC涂层的腐蚀电流密度较304不锈钢管基底降低了一个数量级，腐蚀电位也发生了正移。DLC涂层具有良好的润滑效果，摩擦系数低至0.06~0.18， 磨损率低至2.5x10-7-8.1x10-7 mm'/(N:m),远低于304不锈钢管基底的磨损率( 80x10-7 mm/(N:m))。

结论将HiPIMS电源应用于PECVD技术在304不锈钢内壁沉积的DLC涂层具有较高的硬度，与304不锈钢管内壁具有较高的结合力，同时具有优异的耐腐蚀性能和耐磨性以及良好的润滑作用。HiPIMS电源应用于PECVD技术有望应用更长管道内壁DLC防腐耐磨层的制备。